STARPOWER-PULSE1/PULSE2系列真空镀膜脉冲电弧电源

产品介绍

STARPOWER-PULSE1/PULSE2脉冲电弧电源，是针对真空镀膜行业设计研发的高品质离子镀脉冲电弧电源。
STARPOWER-PULSE1/PULSE2脉冲弧解决方案将阴极电弧工艺的精度和生产能力提升到一个新高度。高能量的电弧放电、快速的把材料蒸发和高能离子在提高阴极电弧沉积效率的同时也会造成潜在的不稳定。STARPOWER-PULSE2电弧电源输出电流最高可达400安培，凭借其强大的功率和工艺控制能力，提供出色的等离子电离、离子能量和生产能力。
脉冲功能增加了阴极电弧的受控程度，且得益于峰值大电流，从而不会影响膜沉积速率。凭借高能离子，阴极电弧沉积通常可制备致密、耐用、均匀和附着力好的薄膜。尽管如此，微粒子掺杂（液滴）可能会干扰这一工艺。此外，离子可能对基底施加过大压力，造成膜应力和附着力问题。STARPOWER-PULSE电弧电源可以调节影响基底的离子能量，控制关键的膜层性能，如注入、密度和附着力。
阴极电弧产生的大量热能会破坏靶材激发质量。脉冲功能通过在脉冲关断时的冷却效果从而使靶材激发均匀。同时，通过限制阴极电弧运动，可以抑制损害性阴极斑点生长。

产品参数